1. 千級無(wú)塵潔凈實(shí)驗室
o 強調對塵埃粒子的控制，壓差設置是維持潔凈環(huán)境的重要手段之一。要求實(shí)驗室相對于相鄰的低潔凈度區域（如潔凈走廊）保持正壓。
o 正壓值一般在 5Pa 至 10Pa 之間。這是為了確保外界的塵埃粒子不會(huì )通過(guò)門(mén)窗等縫隙進(jìn)入實(shí)驗室內部，維持實(shí)驗室內部的潔凈度。例如，在電子芯片制造的部分工序中，千級無(wú)塵潔凈實(shí)驗室可防止外界灰塵污染芯片，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
2. 百級無(wú)塵潔凈實(shí)驗室
o 對潔凈度要求極高，對壓差的控制也更為嚴格。實(shí)驗室相對于相鄰區域必須保持穩定且較高的正壓。
o 通常相對于潔凈走廊等相鄰區域的正壓值應維持在 10Pa 至 15Pa 之間。通過(guò)這種較高的正壓設置，能有效阻止外界空氣的滲透，即使在人員頻繁進(jìn)出的情況下，也能保證外界的塵埃粒子難以進(jìn)入實(shí)驗室。例如，在光學(xué)鏡片研磨、光刻等精密制造工序中，百級無(wú)塵潔凈實(shí)驗室可確保鏡片表面不會(huì )因塵埃污染而影響光學(xué)性能。
3. 十級無(wú)塵潔凈實(shí)驗室
o 是無(wú)塵潔凈等級最高的實(shí)驗室之一，對壓差的穩定性和精確性要求近乎苛刻。
o 實(shí)驗室相對于相鄰區域的正壓值需精確控制在 15Pa 至 20Pa 之間，且壓差波動(dòng)范圍應控制在極小范圍內，如±1Pa。這種嚴格的壓差控制能保證實(shí)驗室內部形成穩定的氣流組織，最大限度地減少塵埃粒子的侵入。例如，在一些高端的半導體制造工藝中，十級無(wú)塵潔凈實(shí)驗室可滿(mǎn)足芯片制造對超高潔凈度環(huán)境的需求，確保芯片的良品率。
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